自工業(yè)化以來，尤其是國防軍工行業(yè)的需要，要求零件具備高度互換性，對尺寸 位置和形狀公差的要求，推動力幾何量計量技術(shù)的發(fā)展。

美國Brown&Sharpe公司在1875年制造的千分尺

隨著工業(yè)現(xiàn)代化進程的發(fā)展，伴隨著眾多制造業(yè)如汽車 機床及模具工業(yè)的大規(guī)模生產(chǎn)的需要，促進和推動了三坐標測量儀(三次元測量機)技術(shù)的發(fā)展。

三坐標是檢測工業(yè)零件的一種精密測量的方法，廣泛應(yīng)用于機械制造、工業(yè)制造的重要測量的方法。

世界上第一臺現(xiàn)代意義上的三坐標測量機：1959年，法國巴黎國際機床博覽會上，蘇格蘭Ferranti公司展出了第一臺坐標測量機。該測量機為直角坐標測量機，在×軸和y軸上設(shè)置了2個可移動的導軌和讀數(shù)裝置，并在z向上放置位移傳感器，測量精度為0.001inch，自此，坐標測量機將測量技術(shù)革命性地從傳統(tǒng)的比較式測量模式帶入空間點坐標測量模式。

世界上第一臺現(xiàn)代意義上的三坐標測量機

世界上第一臺龍門式測量機: 1962年，作為菲亞特(FIAT)汽車公司質(zhì)量控制工程師的Fraorinco Sartorio，在意大利都靈創(chuàng)建了DEA公司，成為世界上第一家專業(yè)制造坐標測量機設(shè)備的公司。

DEA公司產(chǎn)ALPHA：世界上第一臺龍門式測量機

世界上第一個觸發(fā)測頭: 1972年，但是身為勞斯萊斯(Rolls-Royce)公司副總設(shè)計師的David McMurtry為了幫助解決協(xié)和號飛機發(fā)動機上直徑6.35mm復(fù)雜形狀的油管直徑，發(fā)明了世界上第一個接觸式觸發(fā)測頭。

世界上第一個觸發(fā)測頭

第一臺計算器數(shù)字控制（CNC）的三坐標: 1973年，德國Zeiss公司推出了第一臺計算器數(shù)字控制（CNC）的三坐標測量機UMM 500，該測量機采用HP9810計算器，并配置了接觸式掃描測頭，三軸測量精度達到0.5ym.CNC數(shù)控系統(tǒng)提高了坐標測量技術(shù)的自動化水平奠定了快速掃描測量的基礎(chǔ)！提高了測量效率和精度，并增強了坐標測量機的功能。

德國Zeiss產(chǎn) UMM 500

第一次提出軟件補償誤差技術(shù): 1977年，R.Hocken等在MooreN.5坐標測量機上實現(xiàn)了誤差的軟件補償，并為此獲得了國際生產(chǎn)工程科學院的泰勤獎?wù)隆?/span>1985年天津大學精密儀器與光電子工程學院張國雄教授等對坐標測量機進行了軟件誤差補償，將精度從20um提高到2um。此后，各種軟件誤差補償技術(shù)迅速發(fā)展，如熱誤差補償、動態(tài)誤差補償?shù)?，并獲得廣泛應(yīng)用。

第一臺關(guān)節(jié)式坐標測量機: 1986年，日本小坂研究所的小美濃武久等研制了關(guān)節(jié)式坐標測量機。關(guān)節(jié)式坐標測量機由多個關(guān)節(jié)組成，安裝有探測系統(tǒng)的測量臂可由人奉引對零件表面進行測量。安裝在關(guān)節(jié)上的角度傳感器獲得轉(zhuǎn)動角度，結(jié)合臂長可計算出測量點的坐標值。其主要優(yōu)點為量程大、體積小、質(zhì)量輕、靈活方便、便于現(xiàn)場測量。

關(guān)節(jié)臂式坐標測量機

第一臺納米坐標測量機: 1999年，英國國家物理實驗室（NPL）基于商用測量機PMM 12106研制了一臺小量程測量機。該測量機的空間量程為50mmx50mmx50mm，測量不確定度為50nm。納米三坐標測量機開創(chuàng)了坐標測量精度新紀元，從而為微型制造奠定了堅定的技術(shù)基礎(chǔ)。

第一臺全自主知識產(chǎn)權(quán)國產(chǎn)三坐標:2018年，由清華大學和深圳市政府聯(lián)合投資建立的深圳力合精密裝備科技有限公司生產(chǎn)的第一臺高精度三坐標測量機交付客戶使用，此三坐標核心零部件包括測座，測頭，電控，等全部自主研發(fā)生產(chǎn)。標志著國內(nèi)在坐標測量關(guān)鍵技術(shù)上打破國外壟斷取得了突破性進展。